X射線熒光光譜儀是基于X射線熒光光譜法而進行分析的一種常用的分析儀器。X射線（又稱倫琴射線或X光）是一種波長范圍在0.01~10nm之間的電磁輻射形式，是德國科學家倫琴在1895年進行陰極射線的研究時發現的一種新的射線"。隨后，1896年法國科學教喬治發現X射線熒光。

      1948年，Friedman和Briks應用蓋革計數器研制出波長色散X射線熒光光譜儀，1969年美國海軍實驗室成功研制第一臺能量色散X射線熒光（EDXRF）光譜儀,自此，X射線熒光光譜法進入蓬勃發展階段，特別是隨著材料科學、電子技術和計算機的飛速發展，X射線熒光光譜儀分析技術及其軟件的不斷開發，使得EDXRFX射線熒光光譜儀發展逐步完善，無論是硬件還是軟件的開發與波長色散X射線熒光（WDXRF）光譜儀基本同步。

    特點：

    1.是一種真正意義上的無損意義上的無損檢測方法，具有不污染環境及低耗能等優點，被測樣品在測量前后，無論其化學成分、重量、形態等都保持不變，特別適合在現場或在線分析，能實時獲取多種數據。

    2.分析速度快，由于一般無需進行樣品預處理，甚至無需樣品的制備，X射線熒光光譜儀可以對大量的樣品進行快速預篩選分析。一般情況下，檢測一個樣品需要3min左右。

    3.應用范圍廣，可以同時測定樣品多種元素，元素可檢測含量范圍從10負六次方至100%，廣泛用于地質、冶金、化工、材料、石油、醫療和考古等諸多領域，能量色散X射線熒光光譜儀已成為一種強有力的定性和半定量的分析測試技術。EDXRF儀器的發展，使X射線熒光光譜儀方法更有效，其應用領域更加廣泛

    4.X射線熒光光譜儀的不足之處是：分析精度相對較差，一般約為3%~5%對相當一些元素的測定靈敏度還不能讓人滿意